
E-SEAL-RING
功能性密封圈
广泛应用于半导体腔体最核心部件静电卡盘(ESC)边缘,保护ESC内部不受等离子体侵蚀,具有极强的使用寿命、极低表面颗粒物及析出物使用效果。

O-RINGO
型密封圈
广泛应用于半导体干法蚀刻腔体,通过调节板阀的开度可精准控制抽气速度。 在设备运行过程中,密封圈(lock ring)与调节板阀接触面因摩擦作用产生横向剪 切力,易引发结构断裂及部件脱落问题,本公司研发的密封圈(lock ring)具有极强的 耐摩擦能力,可有效消除此类机械失效风险。

PAD RING
传送托环
广泛应用于半导体晶圆制造传输领域,解决移动晶圆时晶圆晃动、晶圆掉落、0型密封圈从机械臂上掉落,损伤晶圆问题,避免粘片、滑片,具有耐等离子体、耐酸碱、耐高温等优势。

BONDING GATE DOOR
一体化门板
广泛应用于半导体ETCH、PVD、CVD等设备,具有极强的使用寿命、极低表面颗粒物等使用效果。

GASKET
垫片
广泛应用于半导体各种工艺设备,以确保设备局部位置的导热、导电或绝缘。

LIP-SEAL
唇形密封圈
广泛应用于真空腔体动态密封(如刻蚀机、薄膜沉积设备)以维持高真空环境,高纯化学品输送系统(如湿法清洗设备)实现强酸/强碱流体的零泄漏传输,以及精密温控装置(如快速退火设备、EUV光刻机冷却模块)确保极端温度下的稳定密封性能。