E-SEAL-RING

功能性密封圈

广泛应用于半导体腔体最核心部件静电卡盘(ESC)边缘,保护ESC内部不受等离子体侵蚀,具有极强的使用寿命、极低表面颗粒物及析出物使用效果。

O-RINGO

型密封圈

广泛应用于半导体干法蚀刻腔体,通过调节板阀的开度可精准控制抽气速度。 在设备运行过程中,密封圈(lock ring)与调节板阀接触面因摩擦作用产生横向剪 切力,易引发结构断裂及部件脱落问题,本公司研发的密封圈(lock ring)具有极强的 耐摩擦能力,可有效消除此类机械失效风险。

PAD RING

传送托环

广泛应用于半导体晶圆制造传输领域,解决移动晶圆时晶圆晃动、晶圆掉落、0型密封圈从机械臂上掉落,损伤晶圆问题,避免粘片、滑片,具有耐等离子体、耐酸碱、耐高温等优势。

BONDING GATE DOOR

一体化门板

广泛应用于半导体ETCH、PVD、CVD等设备,具有极强的使用寿命、极低表面颗粒物等使用效果。

GASKET

垫片

广泛应用于半导体各种工艺设备,以确保设备局部位置的导热、导电或绝缘。

LIP-SEAL

唇形密封圈

随着汽车应用在实现先进应用解决方案方面取得快速进展,特别是在ADAS(高级驾驶辅助系统)和无线连接领域,芯之翼已做好充分准备,提供创新和市场领先的解决方案。